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设备特点
•高性价比：功能强大，满足大部分调阻应用，价格不及进口的1/5，大大降低了激光调阻应用的门槛。
•调阻精度高：独特的测控技术，测量控制系统精度的一致性好，提升产品附加值；成品率高，单位成本下降。
•软件可编程：可轻松实现客户的不同需求以及高自动化运行，也可作为专门的测试平台，适应性广。
•使用成本低：采用了最先进的激光器，无耗材，使用成本最低，长期使用节约大量的费用。
•多功能：可实现陶瓷基片的激光划线、打标，减少设备的再投入。
•专业大理石基座，可有效减小工作台启动、停止和加速过程中产生的震动，同时保持机台温度的稳定性，可靠性高。
主要技术参数
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激光系统 |
型号规格 |
LT5110 |
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激光波长 |
1064nm |
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激光功率 |
10W |
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典型光斑尺寸 |
35±5µm |
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对焦方式 |
自动，计算机程序控制 |
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冷却方式 |
风冷 |
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激光束定位系统 |
激光束运动范围 |
60mm X 60mm |
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运动分辨率 |
0.76µm |
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重复定位精度 |
±5µm |
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分步重复运动系统 |
运动方式 |
精密闭环XY平台 |
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运动范围 |
300mm*300mm |
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重复定位精度 |
±10µm |
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最大运动速度（空载） |
180mm/s |
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测量系统 |
电阻测量方式 |
四线制测量或二线制测量 |
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电阻测量精度 |
中阻0.05% |
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电阻测量范围 |
0.1Ω-100MΩ |
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测量速度 |
25µs/次 |
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零点及满程误差校正 |
自动校正 |
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探针定义 |
可编程任意设定 |
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探针板运动 |
自动，计算机程序控制 |
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